美国brooks instruments布鲁克斯热式质量流量控制器gf135规格-凯发k8国际官网

美国brooks instruments布鲁克斯热式质量流量控制器gf135规格
gf135高级诊断热式质量流量控制器
gf135gamechangerthe gf135是用于半导体制造一个革命性的压力瞬变不敏感（pti）质量流量控制器。所述gf135提高产量和运行时间与速率衰减的实时积分流量测量。 “智慧”先进的诊断功能让用户验证准确度，单向阀漏气状态，并监控传感器漂移不停止生产晶圆。这些改变游戏规则的功能，可导致数千美元在日常生活中节约成本的生产设施：
速率衰减的实时流错误检测技术持续测试更改装置性能
板载诊断日志记录，零点稳定性趋势和修正，和早期检测阀门的腐蚀或堵塞
超快速流动的稳定时间缩短流程周期
市场先进的工艺气体精度

规格
gf135高级诊断热式质量流量控制器
最大压力很高温度
表压c 2 f输入/输出型号满量程测量准确度吧
pti金属密封质量流量控制器瓦特/实时流错误检测和先进的诊断
3 sccm - 5 slm
n2等效±1％s.p。（10-100％f.s。），
/- 1％s.p.加上±0.04％f.s. （2-10％fs）6 85 50 122 0 - 5 vdc / rs485 / devicenet的?
纽扣数据表 - 25button，用户手册，25button请求-a-报价-25button-销售支持-25
美国brooks instruments（布鲁克斯）作为emerson（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。brooks instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的凯发k8国际官网的解决方案。凭借60多年的经验，brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
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