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产品介绍
规格参数
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sec-8340sl 搭载有主体加温加热器 |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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sec-8340sm 本体加温ヒータ搭載 |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
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sec-8440lsl |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2/3/5 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
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sec-8450lsl |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
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sec-8455lsl |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
30/50 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
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sec-8460lsl |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
50/100 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：15?35℃ |
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sec-8440lsm |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2/3/5 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
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sec-8450lsm |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
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sec-8455lsm |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
30/50 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
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sec-8460lsm |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
50/100 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：35?60℃ |
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sec-8440lsh |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2/3/5 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
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sec-8450lsh |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
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sec-8455lsh |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
30/50 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
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sec-8460lsh |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
50/100 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：60?80℃ |
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sec-8440sl |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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sec-8450sl |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
3/5/10 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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sec-8455sl |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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sec-8460sl |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
20/30/50 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80?100℃ |
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sec-8440sm |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
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sec-8450sm |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
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阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
3/5/10 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
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sec-8455sm |
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气体接触部材质 |
sus-316l |
|
阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
10/20 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100?120℃ |
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sec-8460sm |
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|
气体接触部材质 |
sus-316l |
|
阀门类型 |
no: 非通电时：开 |
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标准流量量程 |
20/30/50 slm |
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流量控制范围 |
2?100％ f.s.(满量程) |
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流量精度 |
±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100?120℃ |