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产品介绍
ss 316l结构
10 µin.表面处理（25 µin.可选）
真空至3500 psig（241 bar）入口
1至300 psig（0.07至21 bar）出口
清洗，组装和包装用于高纯度半导体应用
流量
-标准至30 slpm
-hf选项为120 slpm
使用点应用的首选调节器
旋钮loto
规格参数
传输压力：5至150 psig（0.34至10 bar）
耐压：工作压力的150％
爆破压力：工作压力的300％
流量系数（cv）：0.09（可选0.15 hf）
内部容积：0.49 in3（8 cm3）
端口：2口对接焊
阀体，喷嘴：ss 316l
隔膜：ss 316l
涂层：电抛光和钝化
阀座：pctfe（可选聚酰亚胺和ptfe）
入口/出口连接：1/4英寸面密封，母接头
舷内泄漏：2 x 10-10 sccs
舷外泄漏：2 x 10-9 sccs he
座椅泄漏：4 x 10-8 sccs
安装面或面板（可选）
工作温度：-40°至 160°f（-40°至 71°c）