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产品介绍
tpss 产品具有高纯度、高强度和高耐腐蚀性等多种特性，tpss是一种导电材料，不易产生静电。适用于半导体热处理炉的炉芯管、热平衡管、舟和叉。 此外，还提供采用 cvd 方法在产品表面镀上一层超纯致密碳化硅膜的产品，以满足用户的各种需求。
性能特点
高纯度、高强度
高耐腐蚀性
均匀加热
耐热震性
抗氧化性
技术参数
产地：日本
比热（室温，j/gk）：0.69
线膨胀系数（×10 -6 /k）：4.3（室温～1000℃）
导热系数（室温，w/mk）：175
耐热震温度（△t、℃）：400
表层材质：cdv碳化硅膜
体积电阻率（ω厘米）：10-1
按等级进行化学分析：tpss-u
fe 2.5 al 0.5 na 0.2 k 0.2 ca 0.7 cu <0.01 cr 0.1 ni 0.3
表层材料热膨胀系数：碳化硅 4.3 石英玻璃 0.5氮化硅 3.5 硅 3.9
硝酸和氢氟酸的混合酸溶液：不会被腐蚀
产品应用
炉芯管、热平衡管、舟和叉