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产品介绍
阀门处理半导体和其他加工中的应用，常用于将泵和样品入口锁与 hv 或 uhv 工作室隔离。
阀门对行业的重要性几乎与泵一样重要。我们提供各种尺寸的阀门类型。
性能特点
- cf 法兰（带铜垫片）：在大气中工作，压力范围为 10-11 托，可烘烤至 200°c（移除执行器）
- 通用电抛光不锈钢
- 1,100°c 真空钎焊，确保在 hv 和 uhv 压力下可靠运行
- 在紧凑的设计中提供高电导率
- 无冲击运行，振动小
- 需要维护前的 100,000 次循环服务
- 提供手动或气动操作
- 气动阀在断电或气压损失的情况下关闭或保持关闭
- 所有气动5” 法兰外径和更大的型号包含用于位置指示的磁性 reed 开关
- 气动阀配备 120vac 电磁操作器，无需额外费用（其他电压，交流和直流，可根据要求提供）